特許
J-GLOBAL ID：201103010699592764
インクジェットヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-094095
公開番号（公開出願番号）：特開平11-342619
特許番号：特許第3587078号
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】インク液滴を吐出する複数のノズル孔と、Si基板からなり、該ノズル孔の各々に連結する吐出室と、該吐出室の少なくとも一方の壁を構成する振動板と、該振動板に変形を生じさせる駆動手段とを備えたインクジェットヘッドを製造する際に、前記Si基板の一方の面に所定厚さの高濃度p型不純物層を形成し、前記Si基板の他方の面から前記Si基板のエッチングを行って前記高濃度p型不純物層を残留せしめてエッチングストップを行うことによって前記振動板を高精度に形成する工程を含むインクジェットヘッドの製造方法において、前記振動板を形成する工程で、前記高濃度p型不純物層の前記他方の面とは反対の面に酸化膜をパターニングし、前記酸化膜を挟んで前記高濃度p型不純物層に接するようにAu層を形成し、電気化学エッチング停止法を併用してエッチングストップを行うことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (3件)：
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 A
