特許
J-GLOBAL ID：201103011036696236
除電装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2009052325
公開番号（公開出願番号）：WO2009-104511
出願日： 2009年02月12日
公開日（公表日）： 2009年08月27日
要約：
【課題】高純度の窒素ガス雰囲気のような不活性ガス雰囲気下で除電を行うときに、不活性ガス雰囲気を害することなく除電する。【解決手段】除電装置1はプラス側放電電極2と、マイナス側放電電極3とを備え、プラス側放電電極2には、直流(DC)電源4からプラス極性の高電圧が印加される。プラス側放電電極2周りの不活性ガス雰囲気をプラスイオンにイオン化すると共に、プラス側放電電極2とマイナス側放電電極3との間にて、マイナス側放電電極3を介してグランドから電子を放出可能な電界を形成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
不活性ガス雰囲気で被除電物の除電を行う除電装置であって、
プラス側放電電極と、
該プラス側放電電極に対して所定の空間を隔てて設けられると共にグランドに接続されるマイナス側放電電極と、
前記プラス側放電電極に接続され、前記プラス側放電電極周りの不活性ガス雰囲気をプラスイオンにイオン化可能であるとともに、前記プラス側放電電極と前記マイナス側放電電極との間にて、前記マイナス側放電電極を介してグランドから電子を放出可能な電界を形成することが可能なプラスの極性の電圧を印加する電源とを有することを特徴とする除電装置。
IPC (3件)：
H05F 3/04
, H01T 23/00
, H01T 19/04
H05F3/04 D
, H01T23/00
, H01T19/04
5G067AA42
, 5G067DA18
, 5G067DA21
, 5G067EA10
