特許

J-GLOBAL ID：201103011094004751

基板収納容器

発明者： 藤森 義昭 ,  高橋 正人
出願人/特許権者： 信越ポリマー株式会社
代理人 (3件)： 藤本 英介 ,  神田 正義 ,  宮尾 明茂
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-112509
公開番号（公開出願番号）：特開2000-306988
特許番号：特許第3916342号
出願日： 1999年04月20日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基板を収納する容器本体の開口した正面を蓋体で閉鎖してシールする基板収納容器であって、 容器本体の各側壁内面に一体形成されて上下に並ぶ基板用の整列支持溝と、容器本体の底面に取り付けられるボトムプレートと、容器本体の天井に一体成形されてロボティックフランジを着脱自在に支持する上部取付機構と、容器本体の各側壁外面に設けられてサイドレールを着脱自在に支持する下側部取付機構と、容器本体の各側壁外面に設けられてマニュアルハンドルを着脱自在に支持する側部取付機構とを含み、 上部取付機構にロボティックフランジを、下側部取付機構にサイドレールを、そして側部取付機構にマニュアルハンドルをそれぞれ選択的に支持させるようにし、 上部取付機構を、断面逆L字形に成形されて隙間を介して対向し、容器本体の前後方向に伸びてロボティックフランジと嵌まり合う一対の案内レールと、各案内レールに形成されて容器本体の背面側から正面側に向かうに従い徐々に外側に拡がるよう傾く傾斜誘導面とから形成し、 下側部取付機構を、容器本体の各側壁外面下部に複数の補強リブを介し一体成形されて相互に対向し、サイドレール挿入用の被嵌入空間を区画形成する一対の係止リブとし、 側部取付機構を、容器本体の各側壁外面下部に設けられて隙間を介して対向し、マニュアルハンドルと嵌まり合う一対のガイドレールと、各ガイドレールに形成されて容器本体の背面側から正面側に向かうに従い徐々に狭まるよう傾く傾斜誘導面とから形成したことを特徴とする基板収納容器。

IPC (2件)：

H01L 21/673 ( 200 6.01) ,  B65D 85/86 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/68 V ,  B65D 85/38 R

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ウェーハキャリアケース
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-019682   出願人：新日本製鐵株式会社
• ウェハー搬送モジュール
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-196035   出願人：フルオロウェア・インコーポレーテッド