特許
J-GLOBAL ID：201103011105759954
セラミック多層基板の製造方法および製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-288245
公開番号（公開出願番号）：特開2001-111224
特許番号：特許第3994597号
出願日： 1999年10月08日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数枚のグリーンシートを積層し、この積層したグリーンシート積層体を圧着し、焼成してなるセラミック多層基板を製造する装置であって、
前記グリーンシート積層体の一方の面側に配された上圧着板と、
前記グリーンシート積層体の他方の面側に配され、かつ、下圧着板本体と、前記上圧着板の下面部と相対し、前記グリーンシート積層体を上に乗せることが可能な上面部と、前記上面部の外周に設けられ、前記グリーンシート積層体の裏面と当接してグリーンシート積層体を拘束することが可能な拘束溝と、前記下圧着板本体と上面部との間に設けられる付勢手段と、を有する下圧着板と、
前記拘束溝を横切るように形成された脱気溝と、
を備えることを特徴とするセラミック多層基板の製造装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H05K 3/46 H
, H05K 3/46 Y
