特許
J-GLOBAL ID：201103011174070224

熱線濃度計

発明者：
木村 元昭

木村 元昭 について

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桑原 弘樹

桑原 弘樹 について

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秋元 雅翔

秋元 雅翔 について


出願人/特許権者：
学校法人日本大学

学校法人日本大学 について


代理人 (1件)： 須藤 雄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-264065
公開番号（公開出願番号）：特開2011-107035
出願日： 2009年11月19日
公開日（公表日）： 2011年06月02日
要約：
【課題】濃度分布の分解能を図ることを可能にすると共により高い応答性の確保を可能とし、且つノズル形状の特定を容易とし、熱線濃度計そのものも小さくすることを可能とする。【解決手段】ノズル部19を、微小な幅で所望流量の気体を吸い込み可能とする矩形扁平断面に形成した。シリコンウェハの表面に絶縁層を製膜すると共に該シリコンウェハに吸引部に接続させるための接続流路を形成する第1の工程と、絶縁層の表面に、センサ部をスパッタリングにより形成する第2の工程と、絶縁層の表面に、センサ部に接続した配線部を蒸着する第3の工程と、配線部の端末に、電極を蒸着する第4の工程と、絶縁層の表面にポリイミド層をコーティングする第5の工程と、ポリイミド層にノズル部及びノズル部に連通しセンサ部を臨ませ接続流路31に連通する流路をエッチングする第6の工程とを備えたことを特徴とする。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
先端にノズル部を有し内部にセンサ部を有する熱線濃度計であって、 前記ノズル部を、微小な幅で所望流量の気体を吸い込み可能とする矩形扁平断面に形成した、 ことを特徴とする熱線濃度計。
IPC (2件)：
G01N 25/18 ,  G01N 13/00
FI (2件)：
G01N25/18 D ,  G01N13/00
Fターム (8件)：
2G040AA02 ,  2G040AB08 ,  2G040BA23 ,  2G040CA02 ,  2G040DA02 ,  2G040DA21 ,  2G040EA02 ,  2G040FA08
引用特許：
審査官引用 (4件)
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