特許
J-GLOBAL ID：200903008248929819

可燃性ガスセンサ

発明者：
上坂 博二

上坂 博二 について

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大家 勉

大家 勉 について

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山岸 豊

山岸 豊 について

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秋山 重之

秋山 重之 について


出願人/特許権者：
株式会社堀場製作所

株式会社堀場製作所 について


代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-252948
公開番号（公開出願番号）：特開2006-071362
出願日： 2004年08月31日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：
【課題】 単一のサーモパイル等の測温素子のみを用いて小型化、低コスト化を図りつつ、熱容量を低減して高感度化及び高速応答化並びにガス種の選択化を容易に実現できるようにする。 【解決手段】 シリコン基板2面に成膜されたダイヤフラム4上にサーモパイル等の測温素子5が形成され、この測温素子5の感熱部に対応するダイヤフラム4の裏面には酸化触媒6が担持され、かつ、シリコン基板2の表面上には、酸化触媒6を活性状態に維持可能な電熱ヒータ7が設けられている。 【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
半導体基板面に成膜されたダイヤフラム上に測温素子が形成され、この測温素子で測定対象ガスの温度を測定することにより、測定対象ガス中に含まれている可燃性ガスを検知するように構成されている可燃性ガスセンサにおいて、 前記測温素子の感熱部の表面若しくは裏面に酸化触媒が担持されていることを特徴とする可燃性ガスセンサ。
IPC (2件)：
G01N 25/32 ,  G01N 25/30
FI (2件)：
G01N25/32 ,  G01N25/30
Fターム (13件)：
2G040AA03 ,  2G040AB15 ,  2G040BA23 ,  2G040BB09 ,  2G040CB02 ,  2G040DA02 ,  2G040DA03 ,  2G040DA12 ,  2G040EA02 ,  2G040EB02 ,  2G040FA01 ,  2G040GA05 ,  2G040GA07
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (4件)
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