シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：鈴江武彦 , 村松貞男 , 橋本良郎 , 河野哲 , 中村誠 , 河井将次
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-068890
公開番号（公開出願番号）：特開2000-264776
特許番号：特許第4132367号
出願日： 1999年03月15日
公開日（公表日）： 2000年09月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ガス透過性の内側部材と外側部材との中間にガス通路を設けてなる型枠を回転しながらこの型枠内に石英微粒子を供給して、型枠の内側部材の内周に石英ガラス微細粒子充填層を形成し、この石英ガラス微細粒子充填層を内側からアーク電極で加熱して溶融ないし半溶融し、その後これを冷却してからここに形成された石英ガラスルツボを型枠から取出すことからなる石英ガラスルツボの製造方法において、前記アーク電極に直流単相電極を用い、さらにこの電極を該電極と同軸の円筒内に収納して円筒内に不活性ガスを流入し、アーク外周を不活性ガスが覆うようにしたことを特徴とするシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボの製造方法。

IPC (2件)：

C30B 15/10 ( 200 6.01) , C30B 29/06 ( 200 6.01)

FI (2件)：

C30B 15/10 , C30B 29/06 502 B

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平1-157427
特開平1-148718
特開平4-342425

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審査官引用 (3件)

特開平1-157427
特開平1-148718
特開平4-342425

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