特許
J-GLOBAL ID：201103012414586734
イオンビーム軌道制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
三好 秀和
, 高橋 俊一
, 鈴木 壯兵衞
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-029015
公開番号（公開出願番号）：特開2011-165561
出願日： 2010年02月12日
公開日（公表日）： 2011年08月25日
要約：
【課題】電磁界を発生させずにイオンビームの軌道を制御するイオンビーム軌道制御装置を提供する。【解決手段】イオンビームLが入射する反射部11を備えたイオンビーム軌道制御装置10であって、反射部11がイオンビームLを反射する反射面110を有し、その反射面110が、イオンビームLのイオンより原子番号の大きい原子により最表面が構成されている誘電体表面である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
イオンビームが入射する反射部を備えたイオンビーム軌道制御装置であって、
前記反射部が前記イオンビームを反射する反射面を有し、該反射面が、前記イオンビームのイオンより原子番号の大きい原子により最表面が構成されている誘電体表面であることを特徴とするイオンビーム軌道制御装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
引用文献：
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