特許
J-GLOBAL ID：200903072364882560
荷電粒子ビームの偏向・収束方法および荷電粒子ビームの偏向・収束器具
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
上島 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-185522
公開番号（公開出願番号）：特開2007-003418
出願日： 2005年06月24日
公開日（公表日）： 2007年01月11日
要約：
【課題】簡潔な構成により、かつ、簡単な操作により、しかも低コストにより荷電粒子ビームを偏向かつ収束する。【解決手段】一方の端部の開口部の内径よりも他方の端部の開口部の内径が小径となるように一方の端部から他方の端部に向けて内径が絞られている管状の絶縁物の一方の端部の開口部から荷電粒子ビームを投射し、一方の端部の開口部から管状の絶縁物の管内へ荷電粒子ビームを入射すると、管状の絶縁物の管内の内壁への荷電粒子の衝突による衝突部分における帯電ならびに該衝突部分における帯電に伴う電界による荷電粒子の偏向が、管状の絶縁物の管内において繰り返し行われることで、一方の端部の開口部から管状の絶縁物の管内に入射された荷電粒子ビームは、管状の絶縁物の管内と接触することなく収束されて他方の端部の開口部から外部へ出射される。【選択図】 図7
請求項（抜粋）：
荷電粒子ビームを偏向および収束する荷電粒子ビームの偏向・収束方法であって、
一方の端部の開口部の内径よりも他方の端部の開口部の内径が小径となるように前記一方の端部から前記他方の端部に向けて内径が絞られている管状の絶縁物の前記一方の端部の開口部から荷電粒子ビームを投射し、前記一方の端部の開口部から前記管状の絶縁物の管内へ荷電粒子ビームを入射すると、前記管状の絶縁物の管内の内壁への荷電粒子の衝突による衝突部分における帯電ならびに該衝突部分における帯電に伴う電界による荷電粒子の偏向が、前記管状の絶縁物の管内において繰り返し行われることで、前記一方の端部の開口部から前記管状の絶縁物の管内に入射された荷電粒子ビームは、前記管状の絶縁物の管内と接触することなく収束されて前記他方の端部の開口部から外部へ出射される
ことを特徴とする荷電粒子ビームを偏向および収束する荷電粒子ビームの偏向・収束方法。
IPC (3件)：
G21K 1/087
, G21K 1/00
, H01J 37/147
G21K1/087 F
, G21K1/087 D
, G21K1/00 A
, H01J37/147 Z
