特許

J-GLOBAL ID：201103012640652332

圧電振動デバイス

発明者： 中田 穂積 ,  佐藤 俊介
出願人/特許権者： 株式会社大真空
代理人 (1件)： 倉内 義朗
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-285166
公開番号（公開出願番号）：特開2003-101377
特許番号：特許第3589211号
出願日： 2001年09月19日
公開日（公表日）： 2003年04月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】励振電極が形成された薄肉の主振動部及びこの主振動部の外周囲においてこの主振動部よりも厚肉に形成された外縁部を備えた逆メサ構造の中央部と、この中央部の外縁部と所定間隔を存してこの中央部を囲むように形成された枠形状の外枠部と、これら中央部及び外枠部を部分的に連結する連結部とが圧電材料により一体形成されて成っており、上記中央部の外縁部の厚さ寸法は外枠部の厚さ寸法よりも小さく設定されていると共に、この中央部の外縁部の上下各面は外枠部の上下各面よりも厚さ方向の中央側に位置しており、また、上記連結部の厚さ寸法は外枠部の厚さ寸法よりも小さく設定されていると共に、この連結部の上下各面は外枠部の上下各面よりも厚さ方向の中央側に位置しており、更に、上記連結部の厚さ寸法は中央部の外縁部の厚さ寸法よりも小さく設定されていると共に、この連結部の上下各面は中央部の外縁部の上下各面よりも厚さ方向の中央側に位置していることを特徴とする圧電振動デバイス。

IPC (3件)：

H03H 9/19 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18

FI (3件)：

H03H 9/19 A ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 A

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 圧電振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-160130   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開平2-057009
  
• 圧電振動片の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-062304   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 特開昭61-003514
  

審査官引用 (4件)

• 圧電振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-160130   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開平2-057009
  
• 圧電振動片の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-062304   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 特開昭61-003514