半導体集積回路試験装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小森久夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-122386
公開番号（公開出願番号）：特開2000-310662
特許番号：特許第3545260号
出願日： 1999年04月28日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】電流測定のための第1の直流電源と、これに直列に接続される電流計と、被測定半導体素子に接続される電源ラインに一端が接続されたバイパスコンデンサと、該バイパスコンデンサの他端に接続される第2の直流電源と、被測定半導体素子の微少電流測定以外の電流測定時には第2の直流電源を0Vに制御するとともに前記バイパスコンデンサの第2の直流電源側を接地し、被測定半導体素子の微少電流測定時には第1の直流電源と第2の直流電源のバイパスコンデンサ両端にかかる電圧値および印加タイミングを略一致させる制御部と、を備えた半導体集積回路試験装置。

IPC (1件)：