光導波路基板及びその製造方法並びにこれを用いた光送受信器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中野稔
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-286945
公開番号（公開出願番号）：特開2003-098393
特許番号：特許第3804497号
出願日： 2001年09月20日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】一つの基板の第1の面に第1の光導波路を有し、第1の面の反対側の第2の面に第2の光導波路を有し、前記基板がSi単結晶基板であり、第1の光導波路の材質がSiO2系の材料よりなり、第2の光導波路の材質が、透光性を有するポリマーよりなることを特徴とする光導波路基板。

IPC (4件)：

G02B 6/42 ( 200 6.01) , G02B 6/122 ( 200 6.01) , H01L 31/0232 ( 200 6.01) , H01S 5/022 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G02B 6/42 , G02B 6/12 B , H01L 31/02 C , H01S 5/022

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平2-052303
特開平2-052303
光導波路装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-324824 出願人：住友電気工業株式会社

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