連続脱気脱泡装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：坂口信昭
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-055027
公開番号（公開出願番号）：特開2000-246008
特許番号：特許第3959882号
出願日： 1999年03月03日
公開日（公表日）： 2000年09月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】回転円盤の周縁部に環状フレームを配置し、回転円盤に供給した塗布液を遠心力により薄膜状で外方に移動させ前記環状フレームの内側に液溜りを形成し、塗布液に含まれる気体成分並びに気泡を除去する装置において、前記環状フレームの内側に、前記環状フレームに非接触、かつ前記液溜りに全周縁部が接触するようにリング状の案内盤を配置すると共に、前記リング状の案内盤のリング内部を通過する液供給管によって塗布液を回転円盤に供給し、この案内盤の周縁部に設けた液取り出し口から処理済みの塗布液の取り出しを行なうことを特徴とする連続脱気脱泡装置。

IPC (2件)：