特許

J-GLOBAL ID：201103014122743017

光学部品及び分光測光装置

発明者： 佐藤 正聡
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 川北 喜十郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-127529
公開番号（公開出願番号）：特開2011-253078
出願日： 2010年06月03日
公開日（公表日）： 2011年12月15日
要約：

【課題】透過波長可変フィルタを用いて、高い波長分解能を有する分光測光装置を提供する。【解決手段】入射した光を波長ごとに分光して透過させる光学部品であって、光が入射する面内の第1の方向に沿って透過波長が変化する第1の透過波長可変フィルタと、光が入射する面内の第2の方向に沿って透過波長が変化する第2の透過波長可変フィルタを有し、前記第1及び第2の透過波長可変フィルタを所定の間隔を隔てて、かつ、前記第1の方向と前記第2の方向が略平行となるように設置する。分光測光装置であって、前記光学部品と、前記光学部品を透過した光を受光する、複数のセンサが配列されたセンサアレイを備える。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

入射した光を波長ごとに分光して透過させる光学部品であって、 光が入射する面内の第1の方向に沿って透過波長が変化する第1の透過波長可変フィルタと、 光が入射する面内の第2の方向に沿って透過波長が変化する第2の透過波長可変フィルタを有し、 前記第1及び第2の透過波長可変フィルタを所定の間隔を隔てて、かつ、前記第1の方向と前記第2の方向が略平行となるように設置した光学部品。

IPC (4件)：

G02B 5/28 ,  G01J 3/26 ,  G01J 3/36 ,  H01L 27/14

FI (4件)：

G02B5/28 ,  G01J3/26 ,  G01J3/36 ,  H01L27/14 D

Fターム (28件)：

2G020AA03 ,  2G020AA04 ,  2G020AA05 ,  2G020CA12 ,  2G020CB06 ,  2G020CC23 ,  2G020CC26 ,  2G020CC63 ,  2G020CD03 ,  2G020CD22 ,  2H048GA01 ,  2H048GA03 ,  2H048GA12 ,  2H048GA15 ,  2H048GA21 ,  2H048GA22 ,  2H048GA23 ,  2H048GA33 ,  2H048GA52 ,  2H048GA61 ,  4M118AB04 ,  4M118BA11 ,  4M118FA08 ,  4M118GC07 ,  4M118GC17 ,  4M118HA02 ,  4M118HA23 ,  4M118HA24

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平2-132405
  
• 波長選択性を有する光学素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-268715   出願人：日本板硝子株式会社
• 光学フィルタ及び光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-145973   出願人：株式会社ニコン
• 分光測光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-078176   出願人：株式会社ニレコ
• 半値幅無段階可変液晶エタロン
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-197974   出願人：矢崎総業株式会社