特許
J-GLOBAL ID：201103014325691012

干渉フィルター、光センサー、および光モジュール

発明者：
西村 晃幸

西村 晃幸 について

, 
佐野 朗

佐野 朗 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-271234
公開番号（公開出願番号）：特開2011-112999
出願日： 2009年11月30日
公開日（公表日）： 2011年06月09日
要約：
【課題】分光精度の高い干渉フィルター、光センサー、および光モジュールを提供する。【解決手段】エタロン5は、互いに対向する固定基板51および可動基板52と、これらの固定基板51および可動基板52間にそれぞれ設けられる一対の反射膜56,57と、備える。可動基板52には、第一ギャップ形成領域、および、その外周側に形成される可動側接合面523が形成され、固定基板51には、第二ギャップ形成領域、その外周側に形成される固定側接合面513、固定側接合面513内に形成され、接着剤515が塗布される接着用溝514、接着用溝514および第二ギャップ形成領域の間に形成される撓み低減溝516が設けられる。そして、固定基板51および可動基板52は、固定側接合面513および可動側接合面523を接合させた状態で、接着用溝514に塗布される接着剤515により接着接合される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
第一基板と、 前記第一基板の一面側に対向配置され、前記第一基板に接合される第二基板と、 前記第一基板の前記第二基板に対向する面に形成される第一反射膜と、 前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜に対向する第二反射膜と、 を備えた干渉フィルターであって、 前記第一基板は、 前記第一反射膜が設けられるとともに、前記第二基板に当接しない第一ギャップ形成領域と、 前記第一ギャップ形成領域の外周側に設けられ、前記第二基板に当接する第一接合領域と、を備え、 前記第二基板は、 前記第二反射膜が設けられるとともに、ギャップを介して前記第一ギャップ形成領域に対向する第二ギャップ形成領域と、 前記第二ギャップ形成領域の外周側に設けられ、前記第一基板の前記第一接合領域に当接する第二接合領域と、 前記第二接合領域内に形成されるとともに、接着剤が塗布される接着用溝と、 前記接着用溝および前記第二ギャップ形成領域の間に形成される撓み低減溝と、を備え、 前記第一基板および前記第二基板は、前記第一接合領域および前記第二接合領域を接合させた状態で、前記接着用溝に塗布される前記接着剤により接着接合される ことを特徴とする干渉フィルター。
IPC (3件)：
G02B 5/28 ,  G01J 3/26 ,  G01J 3/50
FI (3件)：
G02B5/28 ,  G01J3/26 ,  G01J3/50
Fターム (15件)：
2G020AA08 ,  2G020CA12 ,  2G020CB43 ,  2G020CC23 ,  2G020CC52 ,  2G020CD12 ,  2G020DA22 ,  2G020DA31 ,  2G020DA34 ,  2H048GA12 ,  2H048GA23 ,  2H048GA24 ,  2H048GA26 ,  2H048GA30 ,  2H048GA66
引用特許：
審査官引用 (5件)
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