特許
J-GLOBAL ID：201103014983994002
Ti-Wの選択的エッチング液及びそのエッチング方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-121122
公開番号（公開出願番号）：特開2000-311891
特許番号：特許第3184180号
出願日： 1999年04月28日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 エッチングされてはならない金属の存在下でTi-Wをエッチングするためのエッチング液であって、30wt%過酸化水素水と0.01〜0.1mol/Lの割合で溶解したりん酸水素2ナトリウム又はりん酸2水素カリウムの溶液の体積比が1:1〜500の混合液からなるエッチング液。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/308 F
, C23F 1/26
