電子デバイスハンドラ及び電子デバイス検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：佐々木宗治 , 小林久夫 , 木村三朗 , 大村昇
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-349926
公開番号（公開出願番号）：特開2001-165777
特許番号：特許第3613101号
出願日： 1999年12月09日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】電子デバイスを保持して検査位置に位置決めするコンタクトハンドを備えた電子デバイスハンドラであって、赤外線放射熱を測定する赤外線放射温度計と、前記コンタクトハンドで保持される電子デバイスから放射される赤外線の進行方向を前記赤外線放射温度計に向ける赤外線方向変更部材とで構成されるデバイス温度測定手段を備えたものにおいて、前記コンタクトハンドで保持された電子デバイスの上面と対向する該コンタクトハンドの対応部分を光が透過可能な光透過材により形成し、該光透過材を前記赤外線の前記赤外線放射温度計への通路としたことを特徴とする電子デバイスハンドラ。

IPC (2件)：