物体検出装置および基板処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：吉田茂明 , 吉竹英俊 , 有田貴弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-338172
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156156
特許番号：特許第3905672号
出願日： 1999年11月29日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被処理物に対して処理液を供給して処理する処理装置に使用される物体検出装置であって、被処理物とその一端との接触により変位する振り子と、該振り子の変位を検出する変位検出手段と、内部に純水を収容して、収容した純水に前記振り子の支点から他端までを浸漬する液容器と、前記液容器内の純水の液面を所定高さに維持する液面維持手段と、を備え、前記液面維持手段は、前記液容器内に純水を供給する液供給手段と、前記液容器内に収容された純水を排出する液排出手段と、を有し、前記液容器は、上方が開口し、当該開口には、前記振り子の変位を許容する蓋体が設けられていることを特徴とする物体検出装置。

IPC (1件)：