特許
J-GLOBAL ID：201103015720896843
物理量センサーおよび電子機器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
井上 一
, 竹腰 昇
, 黒田 泰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-122959
公開番号（公開出願番号）：特開2011-247812
出願日： 2010年05月28日
公開日（公表日）： 2011年12月08日
要約：
【課題】 検出軸以外の方向に生じる加速度によって物理量センサーの検出感度が低下することを抑制する。【解決手段】 物理量センサーは、第1揺動体300aと第2揺動体300bとを有し、各揺動体300a,300bは、第1支持部40aと第2支持部40bとによって基板に支持され、かつ、第1揺動体300aは、平面視で第1軸(支持軸)Q1によって第1の領域PT1と第2の領域PT2とに区画され、第2揺動体300bは、平面視で第2軸(支持軸)Q2によって第3の領域PT1と第4の領域PT2とに区画され、第2の領域PT2の質量は第1の領域の質量よりも重く、第4の領域の質量は第3の領域よりも重く、第1の領域と第2の領域の並び方向と第3の領域と第4の領域の並び方向とは互いに同じであり、かつ、重力を受けた状態において第1揺動体300aおよび第2揺動体300bは互いに反対向きに傾斜している。【選択図】 図12
請求項（抜粋）：
ベースと、
前記ベース上に空隙を介して配置された基板と、を有し、
前記基板は開口部を有し、前記開口部に第1揺動体と第2揺動体とが配置され、
前記第1揺動体は、第1支持部と第2支持部と第1可動電極とを含み、第1軸上に配置された前記第1支持部と前記第2支持部とによって前記基板に支持され、且つ、平面視で前記第1軸によって第1の領域と第2の領域とに区画され、各々の領域に前記第1可動電極が形成され、
前記第2揺動体は、第3支持部と第4支持部と第2可動電極とを含み、第2軸上に配置された前記第3支持部と前記第4支持部とによって前記基板に支持され、且つ、平面視で前記第2軸によって第3の領域と第4の領域とに区画され、各々の領域に前記第2可動電極が形成され、
前記ベースには、前記第1可動電極と前記第2可動電極とに対向して固定電極が形成され、
前記第2の領域の質量は前記第1の領域の質量よりも重く、前記第4の領域の質量は前記第3の領域よりも重く、
前記第1の領域と前記第2の領域の並び方向と前記第3の領域と前記第4の領域の並び方向とは互いに同じであり、且つ、重力を受けた状態において前記第1揺動体および前記第2揺動体は互いに反対向きに傾斜したことを特徴とする物理量センサー。
IPC (4件)：
G01P 15/125
, G01P 15/08
, H01L 29/84
, B81B 3/00
G01P15/125 Z
, G01P15/08 P
, H01L29/84 Z
, B81B3/00
3C081AA13
, 3C081AA18
, 3C081BA30
, 3C081BA44
, 3C081BA47
, 3C081CA03
, 3C081CA15
, 3C081EA02
, 4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA21
, 4M112CA22
, 4M112CA24
, 4M112CA31
, 4M112CA33
, 4M112DA03
, 4M112DA04
, 4M112DA06
, 4M112DA18
, 4M112EA02
, 4M112EA03
, 4M112EA06
, 4M112EA11
, 4M112FA01
, 4M112GA01
, 4M112GA03
