特許
J-GLOBAL ID：201003001941386612

マイクロマシニング式のZセンサ

発明者：
ヨハネス クラッセン

ヨハネス クラッセン について

, 
ラース テビエ

ラース テビエ について


出願人/特許権者：
ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング

ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング について


代理人 (5件)： 矢野 敏雄 ,  杉本 博司 ,  高橋 佳大 ,  二宮 浩康 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-540677
公開番号（公開出願番号）：特表2010-512527
出願日： 2007年10月15日
公開日（公表日）： 2010年04月22日
要約：
本発明は、任意の感度とねじりばね(100)とサイズモ補助質量体(40)とを有するマイクロマシニング式のZセンサであって、前記ねじりばね(100)が任意のばね幅(105)を有しており、前記サイズモ補助質量体(40)が、任意のウエブ幅(115)を有するウエブ(100)を備えている形式のものに関する。本発明の核心は、前記ウエブ幅(115)が、前記ばね幅(105)よりも小さく選定されている点にある。
請求項（抜粋）：
任意の感度とねじりばね(100)とサイズモ補助質量体(40)とを有するマイクロマシニング式のZセンサであって、 前記ねじりばね(100)が任意のばね幅(105)を有しており、 前記サイズモ補助質量体(40)が、任意のウエブ幅(115)を有するウエブ(110)を備えている形式のものにおいて、 前記ウエブ幅(115)が、前記ばね幅(105)よりも小さく選定されていることを特徴とする、マイクロマシニング式のZセンサ。
IPC (2件)：
G01P 15/125 ,  B81B 3/00
FI (2件)：
G01P15/125 Z ,  B81B3/00
Fターム (5件)：
3C081AA13 ,  3C081BA03 ,  3C081BA43 ,  3C081BA48 ,  3C081EA02
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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