特許
J-GLOBAL ID：201103015763083056
温度補償用薄膜コンデンサ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野▲崎▼ 照夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-256860
公開番号（公開出願番号）：特開2002-176105
特許番号：特許第3761436号
出願日： 2001年08月27日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板上に設けた下部電極と、該下部電極を覆うように積層された所定の静電容量温度係数を持つ誘電体薄膜パターンと、前記所定の静電容量温度係数とは異なる静電容量温度係数を有するとともに前記誘電体薄膜パターンの両端部をそれぞれ覆うように積層された一対の第二誘電体膜と、該一対の第二誘電体膜間に位置する前記誘電体薄膜パターンと前記一対の第二誘電体膜とを覆うとともに前記下部電極に対向させて設けた上部電極とを有し、
前記下部電極と前記上部電極間における前記誘電体薄膜パターンのみの領域面積と、前記誘電体薄膜パターンと前記一対の第二誘電体膜との重なり部領域面積とを調整して静電容量温度係数を設定するようにしたことを特徴とする温度補償用薄膜コンデンサ。
IPC (4件)：
H01L 27/04 ( 200 6.01)
, H01L 21/822 ( 200 6.01)
, H01G 4/20 ( 200 6.01)
, H01G 4/33 ( 200 6.01)
H01L 27/04 H
, H01G 4/20
, H01G 4/06 102
, H01L 27/04 C
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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