低κ誘電性無機/有機ハイブリッドフィルム及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外8名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-545704
特許番号：特許第3515074号
出願日： 1999年04月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】半導体又は集積回路上に低誘電率を有する誘電性フィルムを作製する方法であって、少なくとも1つの有機ケイ素化合物プリカーサーを提供する工程、及び、化学蒸着により付着させる工程であって、該プリカーサーが反応して基板の表面に付着する工程、を含み、該誘電性フィルムが無機基から実質的になるバックボーン構造及び該バックボーン構造に結合して無機及び有機材料のハイブリッドを形成する有機側基を含み、該ハイブリッドが4.0未満の誘電率を有し、かつ、窒素下で400°Cで1時間の加熱につき2%未満の質量減少を示すフィルムを提供することを特徴とする方法。

IPC (5件)：