圧電アクチュエータ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松下義治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-135667
公開番号（公開出願番号）：特開2000-324859
特許番号：特許第3939048号
出願日： 1999年05月17日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基盤と、前記基盤上を移動させられる移動体と、前記移動体を支持する支持バネと、前記移動体に基部が固定されているとともに、前記基盤の面に沿って前記基部から延びている棒状の変位機構部と、前記変位機構部の自由端を前記基盤に接触させることにより前記移動体を移動させる圧電素子とを備え、前記支持バネは、前記基盤の面に沿う所定方向に延びる複数の第1部分と、前記所定方向に対して直角方向に沿って延びる複数の第2部分とを備え、前記第1部分及び前記第2部分のそれぞれは、前記直角方向に沿って交互に直列に接続されており、前記第2部分は、前記第2部分の幅が前記第1部分の幅よりも広いことを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (1件)：