光学スキャナ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野田茂
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-212964
公開番号（公開出願番号）：特開2001-042246
特許番号：特許第3463798号
出願日： 1999年07月28日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】光照射対象を載置するステージと、前記ステージをX軸方向に移動させるステージ駆動手段と、前記ステージ上の前記対象に光を照射し、与えられた電気信号にもとづいて光照射位置を、前記X軸にほぼ直交するY軸の方向に移動させる光走査手段とを備え、前記ステージ駆動手段により前記ステージをX軸方向に移動させつつ、前記光走査手段により前記対象に光を照射して前記光照射位置をY軸方向の特定範囲内で繰り返し移動させる光学スキャナ装置であって、Y軸方向における前記ステージの位置を検出する位置検出手段と、X軸方向における前記ステージの位置を検出する第2の位置検出手段と、前記第2の位置検出手段によるステージ位置の検出結果にもとづき、前記ステージがX軸方向にほぼ一定の距離を移動するごとに、スキャンタイミング信号を出力するスキャン間隔検出手段と、前記スキャン間隔検出手段が前記スキャンタイミング信号を出力するごとに、前記光走査手段に前記電気信号を出力してY軸方向における走査位置を設定する走査位置設定手段と、Y軸方向における前記ステージの本来の位置を表す信号を受け取り、同信号が表すY軸方向における前記ステージの位置と、前記位置検出手段が検出したY軸方向における前記ステージの位置との差が解消されるように、前記走査位置設定手段から前記走査位置設定手段に出力される前記電気信号を補正する走査位置補正手段とを備えた、ことを特徴とする光学スキャナ装置。

IPC (2件)：

G02B 26/10 104 , B23K 26/06

FI (2件)：

G02B 26/10 104 , B23K 26/06 Z

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開昭55-026563
描画装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-239361 出願人：旭光学工業株式会社

審査官引用 (2件)

特開昭55-026563
描画装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-239361 出願人：旭光学工業株式会社

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