薄板で被覆された基板の製造方法、及びその製造装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金山聡
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-273748
公開番号（公開出願番号）：特開2001-096627
特許番号：特許第4422249号
出願日： 1999年09月28日
公開日（公表日）： 2001年04月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】回転塗布機の被塗布体固定用チャック上に平面性を高めた平坦面を有する定盤を前記平坦面側を上側にして固定する工程、前記定盤の前記平坦面に被覆用の薄板ガラスからなる薄板を置いて密着させる工程、前記薄板上に接着剤の液体を滴下し、滴下された接着剤の上に基板を重ねて置く工程、及び前記被塗布体固定台を回転させて前記接着剤の余剰の部分を除去する工程とをこの記載する順に行うことを特徴とする、薄板で被覆された基板の製造方法。

IPC (3件)：