マスク検査方法および検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田守 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-191056
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021501
特許番号：特許第3361777号
出願日： 1999年07月05日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】透過孔を有するマスクに、選択された波長の光を入射させ、前記マスクを透過する光の透過スペクトルを検知し、前記透過スペクトルが、前記透過孔の寸法及び前記選択された光の波長により決まる関数であることを用いて、前記透過スペクトル及び前記選択された光の波長から前記透過孔の寸法を求めることにより、前記マスクの検査を行うことを特徴とするマスク検査方法。

IPC (3件)：