特許

J-GLOBAL ID：201103017491734772

露光装置及び除振装置、システム同定装置及びその方法

発明者： 涌井 伸二 ,  足立 修一 ,  間山 武彦 ,  加藤 宏昭
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (4件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-165369
公開番号（公開出願番号）：特開2000-082662
特許番号：特許第4272750号
出願日： 1999年06月11日
公開日（公表日）： 2000年03月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 互いに無相関な複数個の疑似不規則信号を発生し、該複数個の擬似不規則信号を運動機構においてその運動を制御するための複数のアクチュエータのそれぞれに印加する疑似不規則信号発生手段と、 該疑似不規則信号の時系列データとともに前記運動機構の運動状態を計測するセンサの時系列データを収集して記憶するデータ記憶手段と、 該データ記憶手段に記憶された時系列データに対してフィルタリングを施すプリフィルタリング手段と、 該プリフィルタリング手段で処理したデータに対して数学モデルを導出するシステム同定手段と、 該システム同定手段が導出する数学モデルを使って前記運動機構の特性値を導出する特性抽出手段とを備え、 前記疑似不規則信号発生手段は、前記運動機構が制御のために備える複数のアクチェエータのそれぞれと1対1で対応する前記互いに無相関な複数個の疑似不規則信号を全アクチュエータに同時に印加することを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  F16F 15/02 ( 200 6.01) ,  G03F 7/20 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H01L 21/30 503 F ,  H01L 21/30 516 B ,  F16F 15/02 A ,  G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 6自由度剛体振動系のモデリング方法およびその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-139560   出願人：キヤノン株式会社
• 特開平3-033623
  
• 特開平3-033623