特許
J-GLOBAL ID:201103018123165055
二酸化バナジウムナノワイヤとその製造方法、及び二酸化バナジウムナノワイヤを用いたナノワイヤデバイス
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
森 幸一
, 吉井 正明
, 山本 孝久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-143007
公開番号(公開出願番号):特開2011-001202
出願日: 2009年06月16日
公開日(公表日): 2011年01月06日
要約:
【課題】VO2ナノワイヤ及びこれを用いたナノワイヤデバイス【解決手段】遷移金属原子によるナノ粒子又はナノドットを成長触媒3として基板1に形成し、減圧下で加熱された基板面に、気相-液相-固相(VLS)成長法によって、VO2ナノワイヤを[110]方向に沿って細長く成長させる。基板として正方晶系のTiO2を使用し結晶面を(110)面とすると、基板の面に対して90°の方向にVO2ナノワイヤ2aを、結晶面を(100)面とすると、45°の方向にVO2ナノワイヤ2bを成長させることができる。ナノワイヤの形成領域が制御でき、径、成長方向、長さが制御されたVO2ナノワイヤを基板に高密度に形成できる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
[110]方向に沿って細長く成長された二酸化バナジウムナノワイヤ。
IPC (4件):
C01G 31/02
, B82B 3/00
, B82B 1/00
, G01J 1/02
FI (4件):
C01G31/02
, B82B3/00
, B82B1/00
, G01J1/02 C
Fターム (16件):
2G065AA04
, 2G065AB02
, 2G065AB04
, 2G065BA12
, 2G065BA14
, 2G065DA20
, 4G048AA02
, 4G048AA03
, 4G048AB01
, 4G048AB03
, 4G048AC04
, 4G048AC08
, 4G048AD01
, 4G048AD04
, 4G048AE05
, 4G048AE08
引用特許:
引用文献:
前のページに戻る