薄膜サーミスタ素子および薄膜サーミスタ素子の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大前要
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-156626
公開番号（公開出願番号）：特開2000-348904
特許番号：特許第4279400号
出願日： 1999年06月03日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】サーミスタ薄膜と、上記サーミスタ薄膜に設けられた1対の電極とを有する薄膜サーミスタ素子であって、上記サーミスタ薄膜が、ビックスバイト型結晶構造を有しているMn-Co-Ni複合酸化物、Mn-Co複合酸化物、Mn-Ni複合酸化物、Mn-Co-Ni-Fe複合酸化物、Mn-Co-Ni-Al複合酸化物、Mn-Co-Ni-Cr複合酸化物、Mn-Co-Cu複合酸化物、またはMn-Co-Ni複合酸化物からなる、薄膜サーミスタ素子。

IPC (1件)：