表面性状測定機のセンサー校正装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-353864
公開番号（公開出願番号）：特開2001-165630
特許番号：特許第4316754号
出願日： 1999年12月14日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】中心軸を有する円柱の外側面であって、校正基準面を形成する基準側面と、前記中心軸に直交し、高さ基準面を形成する前記円柱の上端面と、前記基準側面と前記上端面との接合部分に設けられた斜面部と、前記円柱の下部近傍に設けられた照明光反射部と、測定機の基台へ固定するための固定部と、を備え、前記基準側面は、前記中心軸に平行な基準平面を含み、前記照明光反射部は、前記円柱の外径寸法が前記基準側面より小さくくびれた形状に形成された部分に入り込む形で設置されている、ことを特徴とする表面性状測定機のセンサー校正装置。

IPC (1件)：