特許
J-GLOBAL ID：201103018423873655
非接触式三次元形状測定器の計測精度保証方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
吉田 研二
, 石田 純
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-016742
公開番号（公開出願番号）：特開2002-221411
特許番号：特許第4345235号
出願日： 2001年01月25日
公開日（公表日）： 2002年08月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被測定物表面の画像を複数の測定素子を有するセンサで取得して、前記被測定物の表面三次元形状を測定する非接触式三次元形状測定器における計測精度保証方法であって、
平坦な斜面部を有する第一標準ゲージを用いて、斜面部のフォーカスが合った位置で各測定素子が取得する斜面部の測定点群データの間隔に基づいて、縦横高さ方向の測定分解能を検定するステップと、
平坦な複数の平面部を階段状に配列した第二標準ゲージの平面部画像を複数回取得して、各測定素子が取得する測定毎の測定点群データの前記平面部の垂直方向の座標ばらつきに基づいて、同一平面ばらつき精度及び、異なる2平面部の高さ方向の測定精度を検定するステップと、
円筒表面に少なくとも膨張色から収縮色まで段階的に変化する色彩を有する第三標準ゲージの円筒表面画像を取得して、各測定素子が取得する色の異なる位置における測定点群データが形成する円筒外形に基づいて形状膨縮精度及び曲面測定精度を検定するステップと、
前記各ステップの結果に基づいて、センサの総合測定精度を含む総合測定精度を算出するステップと、
を含み、前記総合測定精度に基づいて非接触式三次元形状測定器の計測精度保証を行うことを特徴とする計測精度保証方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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