ペースト塗布方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-092595
公開番号（公開出願番号）：特開2000-286275
特許番号：特許第3518404号
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】塗布ノズルの吐出口からペーストを吐出させて塗布対象物の表面に設定された塗布エリア内にペーストを塗布するペースト塗布方法であって、前記塗布ノズルの吐出口を塗布開始点から前記塗布エリアの各コーナー位置近傍に設定されるノズル通過点を経由して塗布終了点に至るまでの移動経路を前記塗布ノズルの移動軌跡を交差させない一筆描き動作によって移動させることによりペーストを描画塗布する工程において、1つのコーナーのノズル通過点から次のコーナーのノズル通過点に至る移動経路が、前記2つのノズル通過点を結ぶ直線に対して前記塗布エリアの内側に入り込む形状となるようにし、且つ前記塗布エリアの中央部に前記描画塗布とは別にペーストを追加塗布することを特徴とするペースト塗布方法。

IPC (4件)：

H01L 21/52 , B05C 5/00 101 , B05D 1/26 , B05D 3/00

FI (4件)：

H01L 21/52 G , B05C 5/00 101 , B05D 1/26 Z , B05D 3/00 D

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平4-276634
特開平2-276253
特開昭60-010310

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