バーンインテストシステム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山下穣平
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-229905
公開番号（公開出願番号）：特開2001-051013
特許番号：特許第3294259号
出願日： 1999年08月16日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】製品のロットをバーンインテストするための複数のバーンイン炉と、前記バーンイン炉に入炉すべきロットを決定するバーンインテスト投入装置とを備えたバーンインテストシステムであって、前記バーンイン炉の各々は、前記バーンインテストが収束するに要した収束時間を前記バーンインテスト投入装置に通知し、前記バーンインテスト投入装置は、前記バーンインテストが収束する度に、前記製品毎に前記収束時間の平均値である1回のバーンインテスト当たりの平均収束時間を算出して更新し、前記バーンイン炉が空いた場合に優先的に入炉すべき優先ロットをロットの待ち時間及び納期に基づいて決定し、前記優先ロットとともに更に入炉すべきロットは、前記優先ロットと同一のプログラムでバーンインテストを受けるロットであって、前記優先ロットの製品の前記平均収束時間との差が小さい順に抽出された抽出ロットであり、前記優先ロット及び抽出ロットが含む前記製品の総数を、所定数を超えない最大値とするまで、前記抽出を行い入炉することを特徴とするバーンインテストシステム。

IPC (2件)：

G01R 31/26 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 31/26 H , G01R 31/26 Z , H01L 21/66 H

引用特許：

出願人引用 (1件)

半導体装置の試験装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-029053 出願人：三菱電機株式会社

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