アクチュエータ用圧電部材の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-242641
公開番号（公開出願番号）：特開2001-068754
特許番号：特許第4582835号
出願日： 1999年08月30日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】平均粒径が0.4〜0.7μm、粒度分布の標準偏差が0.2μm以下、BET比表面積が5〜13m2/gであるチタン酸ジルコン酸鉛系合成粉体を所定の形状に成形した成形体を、マグネシア系セラミックス又はジルコニア系セラミックスからなる半密閉容器に入れ、炉内雰囲気の酸素濃度を25体積%以上に保ちながら焼成することを特徴とするアクチュエータ用圧電部材の製造方法。

IPC (3件)：