ポリッシング装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：鈴江武彦 , 村松貞男 , 坪井淳 , 橋本良郎 , 河野哲 , 中村誠 , 河井将次
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-315681
公開番号（公開出願番号）：特開2001-129757
特許番号：特許第3649971号
出願日： 1999年11月05日
公開日（公表日）： 2001年05月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】上面に研磨布が装着されるターンテーブルと、ターンテーブルに対向してその上方に配置され、下面にバッキングパッドを介して円板状の被加工物が吸着されるトッププレートと、トッププレートの上面側に配置され、下面にトッププレートを保持するトップブロックと、トッププレートの周囲を取り囲む様にトップブロックの周縁部に取り付けられ、被加工物を外周側からガイドするガイドリングとを備え、被加工物を回転させながら研磨布に対して押し付けてポリッシングを行うポリッシング装置において、前記トッププレートの外周と前記ガイドリングの内周との間にリング状の空間部を設け、この空間部に、前記ガイドリングの内周面に沿って上下方向に駆動され、その先端面で前記バッキングパッドを介して前記被加工物の周縁部に加圧力を加えるリング状のピストンを配置するとともに、このリング状のピストンの後端面と前記トップブロックの下面との間に、加圧流体が供給される圧力室を形成し、前記トッププレートに、その下面側に外周面から径方向に張り出すフランジ部を設けるとともに、前記リング状のピストンの先端部に、その外周に沿って下向きに突出するリング状の突出部を設け、この突出部が、前記フランジ部の外周と前記ガイドリングの内周との間に挿入され、この突出部の先端面が前記バッキングパッドを介して前記被加工物の周縁部に加圧力を加える様に構成されていること、を特徴とするポリッシング装置。

IPC (3件)：

B24B 37/00 , B24B 37/04 , H01L 21/304

FI (3件)：

B24B 37/00 B , B24B 37/04 E , H01L 21/304 622 K

引用特許：

審査官引用 (1件)

キャリア及びCMP装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-100636 出願人：スピードファム・アイペック株式会社

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