特許
J-GLOBAL ID：201103019133291349

フォーカス合わせ方法、投影露光方法、フォーカス合わせ装置及び投影露光装置

発明者：
横山 浩

横山 浩 について

, 
芳賀 一実

芳賀 一実 について


出願人/特許権者：
独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について


代理人 (2件)： 荒船 良男 ,  荒船 博司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-351075
公開番号（公開出願番号）：特開2003-149544
特許番号：特許第4352106号
出願日： 2001年11月16日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 反射面の傾きを独立制御可能な複数のミラーを含んで構成される空間光変調器を使用し、前記空間光変調器に担持されるミラーパターンを反映した光を対象物に照射し、前記対象物での反射光を前記空間光変調器に戻し当該空間光変調器で反射した光の光量を検出し、その検出された光量が最大となる方向に前記対象物を移動させることによりフォーカス合わせを行うことを特徴とするフォーカス合わせ方法。
IPC (4件)：
G02B 7/36 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  G03F 7/207 ( 200 6.01) ,  G02B 7/28 ( 200 6.01)
FI (4件)：
G02B 7/11 D ,  H01L 21/30 526 A ,  G03F 7/207 H ,  G02B 7/11 M
引用特許：
審査官引用 (8件)
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