特許
J-GLOBAL ID：201103019928144980

膜厚測定方法及び段差測定方法

発明者：
菊池 俊彦

菊池 俊彦 について

, 
三上 徹

三上 徹 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (6件)： 鈴江 武彦 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  河井 将次
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-071102
公開番号（公開出願番号）：特開2002-267417
特許番号：特許第3908472号
出願日： 2001年03月13日
公開日（公表日）： 2002年09月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】測定対象膜を有して測定対象となるウェハに白色光を照射し、該ウェハからの干渉光強度を波長毎に検出する第1の工程と、 前記検出された波長毎の干渉光強度の値を横軸が波長、縦軸が干渉光強度の分光波形として求める第2の工程と、 第1及び第2の工程と同様にして、前記ウェハの測定対象膜よりも下層と同一構造のサンプルをリファレンスとして干渉光強度の分光波形を求める工程と、 前記求められたリファレンスとなるサンプルの干渉光強度の分光波形で、前記求められた測定対象となるウェハの干渉光強度の分光波形を正規化する工程と、 前記正規化により得られた反射光強度比から前記測定対象膜の膜厚を求める工程と、 を含むことを特徴とする膜厚測定方法。
IPC (3件)：
G01B 11/06 ( 200 6.01) ,  H01L 21/66 ( 200 6.01) ,  G01N 21/45 ( 200 6.01)
FI (3件)：
G01B 11/06 G ,  H01L 21/66 P ,  G01N 21/45 A
引用特許：
出願人引用 (4件)
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