特許
J-GLOBAL ID:200903035788706735

薄膜の膜厚計測方法及びその装置並びにそれを用いた薄膜デバイスの製造方法及びその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 作田 康夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-121251
公開番号(公開出願番号):特開2000-310512
出願日: 1999年04月28日
公開日(公表日): 2000年11月07日
要約:
【要約】【課題】実際の製品の最表面の透明な膜の厚さを、下地のパターンの影響を受けることなく高精度に計測して、高品質な膜厚の管理および、加工のスループットの向上を図る。【解決手段】実際のデバイスパターンでの高精度膜厚計測が可能な膜厚計測ユニットを研磨装置に組み込むことにより、高精度の膜厚計測により高精度の膜厚管理を実現する。および、加工のスループットの向上を実現する。高精度の計測方法として白色光の膜による干渉光の分光波形に対して周波数解析し、波形の含む周波数成分の位相と膜厚の関係から膜厚の絶対値の算出を行う。
請求項(抜粋):
表面に光学的に透明な薄膜を形成した試料に白色光を照射し、該白色光の照射により前記試料から発生する反射光を検出し、該検出した反射光の分光波形に基づいて前記光学的に透明な膜の膜厚を求めることを特徴とする薄膜の膜厚計測方法。
IPC (5件):
G01B 11/06 ,  B24B 37/04 ,  B24B 49/12 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/66
FI (5件):
G01B 11/06 G ,  B24B 37/04 K ,  B24B 49/12 ,  H01L 21/304 622 S ,  H01L 21/66 P
Fターム (65件):
2F065AA30 ,  2F065BB22 ,  2F065CC18 ,  2F065CC19 ,  2F065CC31 ,  2F065DD00 ,  2F065FF04 ,  2F065FF27 ,  2F065FF56 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065GG04 ,  2F065GG22 ,  2F065GG23 ,  2F065GG24 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL22 ,  2F065LL30 ,  2F065LL42 ,  2F065LL46 ,  2F065LL67 ,  2F065PP22 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ39 ,  2F065QQ44 ,  2F065SS03 ,  2F065SS13 ,  2F065UU05 ,  2F065UU07 ,  3C034AA13 ,  3C034AA17 ,  3C034BB93 ,  3C034CA03 ,  3C034CA22 ,  3C034CA30 ,  3C034CB13 ,  3C034DD20 ,  3C058AA07 ,  3C058AC02 ,  3C058BA07 ,  3C058BA09 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058CB10 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17 ,  4M106AA01 ,  4M106AA20 ,  4M106BA04 ,  4M106BA05 ,  4M106CA48 ,  4M106DH03 ,  4M106DH12 ,  4M106DH31 ,  4M106DH32 ,  4M106DH37 ,  4M106DH57 ,  4M106DJ18
引用特許:
審査官引用 (5件)
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