電位センサおよびそれを用いた電子機器

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-262378
公開番号（公開出願番号）：特開2001-083199
特許番号：特許第3555518号
出願日： 1999年09月16日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】2つの脚を有する圧電音叉の一方の脚に被検出面に対向して検出用電極を設け、前記圧電音叉の少なくとも一方の脚に駆動用圧電体を設け、前記圧電音叉の両方の脚にそれぞれ帰還用圧電体を設けてなることを特徴とする電位センサ。

IPC (1件)：