特許

J-GLOBAL ID：201103020214068006

積層型層間光方向性結合器の製造方法

発明者： 鈴木 賢哉 ,  井藤 幹隆 ,  杉田 彰夫
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (3件)： 松元 洋 ,  光石 俊郎 ,  田中 康幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-184276
公開番号（公開出願番号）：特開2003-004965
特許番号：特許第3783924号
出願日： 2001年06月19日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 光結合直線部の上部コアが下部コアの真上に配置された構造を有する積層型層間光方向性結合器の製造方法であって、 基板上の一面に下部クラッド層および下部コア層が成膜される第一の工程と、前記光結合直線部を除く下部コアが形成される第二の工程と、下部導波路層を覆うように中間クラッド層が成膜される第三の工程と、上部コア層が成膜される第四の工程と、前記光結合直線部を除く上部コアが形成される第五の工程と、前記光結合直線部の下部コアおよび上部コアを、前記光結合直線部を除く下部コアならびに前記光結合直線部を除く上部コアの直線マージン部を同時にエッチングすることで、同時に形成される第六の工程と、オーバークラッドが成膜される第七の工程とを含むことを特徴とする積層型層間光方向性結合器の製造方法。

IPC (2件)：

G02B 6/13 ( 200 6.01) ,  G02B 6/122 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G02B 6/12 M ,  G02B 6/12 D

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平4-264429
  
• 光導波路素子及び光導波路素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-129997   出願人：沖電気工業株式会社
• 積層型石英系光導波路の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-266781   出願人：日本電信電話株式会社