特許
J-GLOBAL ID：201103020300554258
微細切削方法および微細切削装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平田 忠雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-055781
公開番号（公開出願番号）：特開2000-246502
特許番号：特許第3858504号
出願日： 1999年03月03日
公開日（公表日）： 2000年09月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 金属材料からなる被加工物を微細に切削する微細切削方法において、
所定の軸を中心に回転させたとき、前記被加工物との間で接触状態及び非接触状態が交互に周期的に発生する断面形状を有する切削刃を備えた切削工具を用意し、
前記被加工物との間に電解液を介在させて電極を配置し、
前記切削工具の前記切削刃の角度位置が前記被加工物との非接触状態にあるとき、前記被加工物と前記電極との間に電解電圧を印加して前記被加工物の表面に不働態膜を生成し、
前記切削工具の前記切削刃の角度位置が前記被加工物との接触状態にあるとき、前記被加工物と前記電極との間に電解電圧を印加しないで前記被加工物の表面に生成された前記不働態膜を前記切削工具により切削除去することを特徴とする微細切削方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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