特許

J-GLOBAL ID：201103021031629340

水銀ランプ、照明装置及び露光装置

発明者： 安延 蔵
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 内尾 裕一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-227187
公開番号（公開出願番号）：特開2003-045219
特許番号：特許第4522024号
出願日： 2001年07月27日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】一端の口金部に導通用ワイヤを備え他端の口金部に凸部および位置決めピンを備える水銀ランプを取り付ける際、前記凸部がはめ込まれる穴および前記位置決めピンがはめ込まれる溝により前記導通用ワイヤの向きを決めるとともに、回ることで前記穴の直径および前記溝の幅を縮めるネジにより前記水銀ランプを固定することを特徴とする照明装置。

IPC (5件)：

F21V 19/00 ( 200 6.01) ,  G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  H01J 5/50 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  F21Y 101/00 ( 200 6.01)

FI (6件)：

F21V 19/00 110 ,  G03F 7/20 521 ,  H01J 5/50 G ,  H01L 21/30 527 ,  H01L 21/30 502 G ,  F21Y 101:00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 基板の周辺部露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-286830   出願人：大日本スクリーン製造株式会社, 浜松ホトニクス株式会社
• 露光装置、リソグラフィシステム、及び半導体デバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-175184   出願人：株式会社ニコン