ガスジェットシール方法およびそのノズル

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：内藤俊太 , 田中久喬
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-010943
公開番号（公開出願番号）：特開2000-212650
特許番号：特許第4376335号
出願日： 1999年01月19日
公開日（公表日）： 2000年08月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】スリットノズルあるいは列状の多孔ノズルによって膜状のガスジェットを噴出し、膜状のガスジェットの両側の雰囲気ガスの流通を遮断するガスジェットシール方法において、ノズル内のガス室の幅方向の少なくとも2個所からガスを供給し、それぞれへのガス供給量の配分を変更してガスジェットの偏流方向を制御することを特徴とするガスジェットシール方法。

IPC (1件)：