特許
J-GLOBAL ID：201103021135693929
放射線コレクタ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-512186
公開番号（公開出願番号）：特表2011-522434
出願日： 2009年06月04日
公開日（公表日）： 2011年07月28日
要約：
本発明は、放射源によって生成された放射線の一部を、スポット(100)に集束させるように設計された放射線コレクタ(10)に関する。当該コレクタは凹型一次ミラー(1)および凸型二次ミラー(2)を含み、これらのミラーは、それぞれがコレクタの光軸(X-X)に対して回転対称である。一次ミラーは、当該主要ミラーの異なる点と点との間では、集められた放射線をほぼ一定の入射角(i)で反射するように構成される。このようなコレクタは、放電線生成プラズマ型の放射源との使用に特に適している。
請求項（抜粋）：
放射源によって生成される放射線の一部を集めて、当該集められた放射線の一部を、生成した集束出力ビーム(F)によって形成されるスポット(100)に集束させるように構成された、放射コレクタ(10)であって、
上記コレクタの光軸(X-X)に対してそれぞれが回転対称である一次ミラー(1)および二次ミラー(2)であって、まず当該一次ミラーが、つぎに当該二次ミラーが上記集められた放射線の一部を反射するように構成された、一次ミラー(1)および二次ミラー(2)を備え、
上記一次ミラー(1)は凹型であり、上記コレクタの光軸を含むデバイスの子午面における領域[0.8×R(α);1.2×R(α)]に配置された第1の母線を有し、Rおよびαは当該子午面内の極座標であり、Rは上記放射源が配置される、光軸(X-X)上の点(O)から測定される動径座標であり、αは当該光軸から測定される角座標であり、R(α)は次式(1)によって算出され、
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 531S
, G21K1/06 G
5F046GB01
, 5F046GB07
, 5F046GC03
