特許

J-GLOBAL ID：200903009189253306

照明光学系、露光装置及びデバイス製造方法

発明者： 辻 俊彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-401068
公開番号（公開出願番号）：特開2004-140390
出願日： 2003年12月01日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：

【課題】 被照明領域を均一な照度で照明すると共に、被照明領域に入射する光線の光強度の重心を光線の中心に一致させる照明光学系、露光装置及びこれを用いたデバイス製造方法を提供する。【解決手段】 光源からの波長200nm以下の光で被照明面を照明する照明光学系において、前記被照明面の照明領域を定義するための開口が設けられた視野絞りと、当該視野絞りの前記開口を経た光束で、前記開口を前記被照明面に結像する反射光学系と、前記被照明面に入射する光束の主光線の前記被照明面に対する角度を調節する調節機構とを有することを特徴とする照明光学系を提供する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

光源からの波長200nm以下の光で被照明面を照明する照明光学系において、 前記被照明面の照明領域を定義するための開口が設けられた視野絞りと、 当該視野絞りの前記開口を経た光束で、前記開口を前記被照明面に結像する反射光学系と、 前記被照明面に入射する光束の主光線の前記被照明面に対する角度を調節する調節機構とを有することを特徴とする照明光学系。

IPC (2件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20

FI (3件)：

H01L21/30 531A ,  G03F7/20 503 ,  G03F7/20 521

Fターム (23件)：

2H097AA02 ,  2H097BA10 ,  2H097BB10 ,  2H097CA15 ,  2H097EA01 ,  2H097GB00 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  5F046BA05 ,  5F046CA08 ,  5F046CB02 ,  5F046CB03 ,  5F046CB05 ,  5F046CB13 ,  5F046CB17 ,  5F046CB23 ,  5F046DA01 ,  5F046GA03 ,  5F046GA07 ,  5F046GA14 ,  5F046GB01 ,  5F046GC03 ,  5F046GD10

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 照明装置及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-025569   出願人：株式会社ニコン
• X線縮小投影露光装置及びこれを用いた半導体デバイス製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-223614   出願人：キヤノン株式会社
• 照明装置、該照明装置を備えた露光装置および該露光装置を用いて半導体デバイスを製造する方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-263673   出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (2件)

• 照明装置、該照明装置を備えた露光装置および該露光装置を用いて半導体デバイスを製造する方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-263673   出願人：株式会社ニコン
• 投影露光装置及び投影露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-269056   出願人：株式会社ニコン