噴孔検査装置および噴孔検査方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：服部雅紀
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-194328
公開番号（公開出願番号）：特開2001-017889
特許番号：特許第3666561号
出願日： 1999年07月08日
公開日（公表日）： 2001年01月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】噴射装置に形成されている噴孔の加工状態を検査する噴孔検査装置であって、前記噴射装置に液体を供給する液体供給装置と、前記噴孔から噴射される液体の被測定断面に重なるように所定の厚みと広がりを有する平面状のシート光を照射する投光部と、前記シート光で照射された前記被測定断面の像を記録する撮像部と、前記撮像部で記録した前記像を解析するデータ処理部とを備え、前記液体供給装置から前記噴射装置に供給する液体の圧力は、前記噴孔から液柱状に液体を噴射させるように設定されており、前記噴孔から噴射される液体の圧力は前記噴射装置の実使用時よりも低いことを特徴とする噴孔検査装置。

IPC (3件)：