ガス分析装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：渡辺敬介 , 山口芳広
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-353178
公開番号（公開出願番号）：特開2001-165907
特許番号：特許第4382939号
出願日： 1999年12月13日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】筒形をなすグリッド及び、該グリッドの外側に配置され、ガスをイオン化するフィラメントを備えたイオン源と、前記グリッド内に前記グリッドの軸方向電界を形成し、前記グリッドの一端部からイオンを引き出す引出し電極と、前記引出し電極で引出されたイオンを質量分別する質量分別器と、質量分別されたイオンを捕捉する分圧用コレクタと、前記グリッド内に前記グリッドの径方向電界を形成し、前記グリッド内のイオンを捕捉する全圧用コレクタとを備え、前記全圧用コレクタが、前記グリッドの他端部から当該グリッド内に差し込まれたワイヤー状で、該全圧用コレクタの前記グリッド内の長さが、前記グリッドの長さの1/3〜2/3で、前記引出し電極が、前記グリッドの一端部に隣接して設けられた円孔板状であり、前記グリッド内に、前記引出し電極による前記グリッドの軸方向電界が前記全圧用コレクタによる前記グリッドの径方向電界より大なる領域と、前記全圧用コレクタによる前記グリッドの径方向電界が前記引出し電極による前記グリッドの軸方向電界より大なる領域とを同時に形成可能であることを特徴とするガス分析装置。

IPC (3件)：

G01N 27/62 ( 200 6.01) , G01L 21/30 ( 200 6.01) , H01J 41/04 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G01N 27/62 B , G01L 21/30 Z , H01J 41/04

引用特許：

審査官引用 (6件)

質量分光計において分圧の測定を訂正する方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-074686 出願人：レイボールドインフィコン,インコーポレイテッド
特公平4-015577
特公平4-015577

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