3次元形状計測方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：西川惠清 , 森厚夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-304086
公開番号（公開出願番号）：特開2001-124534
特許番号：特許第3690212号
出願日： 1999年10月26日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】光の強度が少なくとも1周期以上に亘る正弦波状に変化し縞状となる第1パターンを計測対象に投影し、前記1周期の縞間隔よりも狭い間隔で前記第1パターンの位相シフトを複数回行い、少なくとも前記位相シフト毎に、前記第1パターンの光の光軸と異なる方向から、前記計測対象の表面形状に応じて変形した前記第1パターンの撮像を行い、前記撮像で得られた複数の画像の同一位置における明度を逆正接関数で演算処理して前記第1パターンの位相を導出し、前記第1パターンの位相境界で発生する不連続を復元して位相の連結を行う各ステップを有し、前記第1パターンの位相境界の位置に強度のエッジまたはピークを形成する第2パターンの光を前記計測対象に照射し、前記位相の連結の際、前記第2パターンの光により形成された強度のエッジまたはピークに応じて前記第1パターンの位相境界の位置を割り出すことを特徴とする3次元形状計測方法。

IPC (2件)：

G01B 11/25 , G01B 11/24

FI (2件)：

G01B 11/24 E , G01B 11/24 K

引用特許：

出願人引用 (2件)

三次元形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-082587 出願人：株式会社ニデック
形状計測方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-224548 出願人：株式会社江川

審査官引用 (2件)

三次元形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-082587 出願人：株式会社ニデック
形状計測方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-224548 出願人：株式会社江川

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