特許
J-GLOBAL ID：201103022018346378

感放射線性樹脂組成物、重合体及び化合物

発明者：
宇高 友広

宇高 友広 について

, 
中島 浩光

中島 浩光 について

, 
中原 一雄

中原 一雄 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (8件)： 天野 一規 ,  藤本 勝誠 ,  藤井 康輔 ,  池田 義典 ,  宮崎 悟 ,  小川 博生 ,  加藤 早苗 ,  奥谷 優
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-084621
公開番号（公開出願番号）：特開2011-215433
出願日： 2010年03月31日
公開日（公表日）： 2011年10月27日
要約：
【課題】薄膜で基板上に反射防止膜を形成していない場合であっても、段差のある基板上であっても、良好なパターン形状を有し、パターン変動幅の小さいレジスト膜を形成可能であり、かつ、良好な感度を有し、焦点余裕度及び露光余裕度にも優れた新規な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、下記式(1)で表される構造単位を有する感放射線性樹脂組成物であり、感放射線性酸発生体を含有することが好ましい。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
[A]下記式(1)で表される構造単位を有する重合体 を含有する感放射線性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/039 ,  H01L 21/027 ,  C08F 20/56
FI (3件)：
G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R ,  C08F20/56
Fターム (46件)：
2H125AF17P ,  2H125AF21P ,  2H125AF36P ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH22 ,  2H125AH23 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ44Y ,  2H125AJ52X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ64Y ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ65Y ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN54P ,  2H125AN82P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100AL08T ,  4J100BA03S ,  4J100BA09R ,  4J100BA09S ,  4J100BA11R ,  4J100BA11T ,  4J100BC03P ,  4J100BC03Q ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100BC83R ,  4J100BC83T ,  4J100CA03 ,  4J100CA06 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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