特許
J-GLOBAL ID：201103022621210898
スリットノズルの洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小山 有 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-100117
公開番号（公開出願番号）：特開2000-288488
特許番号：特許第3511106号
出願日： 1999年04月07日
公開日（公表日）： 2000年10月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 所定幅の塗布液吐出口が開口したスリットノズルを洗浄する装置であって、この装置はスリットノズルを載置した状態で実質的な密閉空間を形成する洗浄部を備え、この洗浄部内にはノズル先端に対向するように洗浄液の吐出口が長手方向に沿って多数形成され、更に各ノズルの洗浄液の噴出方向はノズルに対する直交方向に対して角度を有することを特徴とするスリットノズルの洗浄装置。
IPC (4件)：
B08B 3/02
, H01L 21/027
, H01L 21/304 643
, G03F 7/30 501
B08B 3/02 A
, H01L 21/304 643 Z
, G03F 7/30 501
, H01L 21/30 564 C
